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無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn)—無(wú)塵室(無(wú)塵車間)等級(jí)劃分

更新時(shí)間:2015-03-13點(diǎn)擊次數(shù):16248

無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn)—無(wú)塵室(無(wú)塵車間)等級(jí)劃分


無(wú)塵室(潔凈室)根據(jù)潔凈程度不同分很多等級(jí)。

    目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無(wú)塵室等級(jí)大都為1000級(jí)和100級(jí)的居多,數(shù)字越小,潔凈等級(jí)越高。 

無(wú)塵室(潔凈室)1000級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能過(guò)1000顆 ;

無(wú)塵室(潔凈室)100級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.3的灰塵顆粒不能過(guò)100顆 ;

注意了:每個(gè)等級(jí)所管控的顆粒大小也不一樣;

依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可將無(wú)塵室(潔凈室)分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí);

如果無(wú)塵室(潔凈室)的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um,無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。

一、聯(lián)邦規(guī)格無(wú)塵室等級(jí)

現(xiàn)今一般多奉行與美國(guó)所制定的聯(lián)邦規(guī)格,BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格)。 其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個(gè)0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級(jí)○○]。例如:空氣中含有10個(gè)0.5  以下時(shí),表示為“等級(jí)10"。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。 在JIS標(biāo)準(zhǔn)下,無(wú)塵室清潔度,共分為8個(gè)等級(jí)  一般清潔度是指空氣的潔凈等級(jí),分為等級(jí)1、2???8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1;百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2;千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3,依次類推。 

二、無(wú)塵車間-無(wú)塵室(潔凈室)標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)

 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E (1992 年)PC/ft3 

潔凈度:粒徑(um) 


0.1

0.1

0.3

0.5

5.0

1

35

7.5

3

1

NA

10

350

75

30

10

NA

100

NA

750

300

100

NA

1000

NA

NA

NA

1000

7

10000

NA

NA

NA

10000

70

100000

NA

NA

NA

100000

700


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